概要：本设备包括箱式电炉、电源控制面板、测温装置和气氛控制系统。该电炉能够通过PLC/触摸面板操作控制，能够调整为不同程序和进行精确气氛控制。

技术要求及参数：

 1： 处理材料：MLCC（BME）

2： 炉子气氛：H₂（0～5%）+N₂  

3：尺寸（工作区） ：200（L）×200（H）×300（D）

:4： 加热温度：正常温度：1250℃～1350℃   最高温度：1400℃

5：温控要求：

 5.1: 电源  ：三相电压380V  50Hz

5.2:仪表控温精度为±1℃，炉膛内横截面温度均匀度为±3℃以内（以测温砖测量为准，生产厂家需提供检测手段）。

5.3:升温速率可达2-5℃/min。

5.4:全自动温度控制、气流量控制、程序控制，能自动记录任何时刻的各种工艺参数及设备运行数据。能设定程序10个、每个程序15个段。

5.5:曲线可设定各程序段的温度、气体流量、时间可调节、设定。

6: 气氛要求 

6.1使用气体：

  6.1.1N₂    ：0.41Mpa（约20升/分钟）

      6.1.2N₂ +H₂（10%） ：0.41Mpa（约5升/分钟）

6.1.3纯净压缩空气:   0.5Mpa(约500ml/min。)

6.1.4加热温度可调的水蒸汽

6.1.5冷却水 ：0.15Mpa

 6.2有炉内气压的测试和显示装置

6.3加湿器 ： 1套 ，能观察到加湿器内部水位高低，方便及时加水，带有加热器 ：鞘式加热器  

6.4设置气体混合器   

6.5设置合理进气方式，保证炉膛内气氛均匀

7、 报警：

      紧急停机，超温报警，SCR故障，冷却水停止，炉压报警， PLC电池耗竭，通讯故障。

 8、记录：配有无纸记录仪

记录仪显示和存储的当前值：① 温度值（温控曲线） ②压力③MFC（氮气） ④MFC（氮气+氢气）⑤MFC（空气）全程跟踪记录设备炉温等技术参数，方便随时查阅。